ALE/1C-UV-LED 웨이퍼 노광 시스템
첨단 자외선 발광 UV LED 라이트 엔진
제품 우세 및 특점
- 내부에 배치하여 최고의 효율성과 성능 실현
- 클로즈드 루프 제어 출력
- LED 공정 안정성과 TCO 장점
- 무수은 디자인, 미래 지속 가능
- 최대 50W의 광대역 노광 (UV-LED 350-450nm)
고출력 수은램프의 출력성능 대체
ALE/1C 노출 광원은 350-450nm 범위의 협대역 및 광대역 자외선 출력 제공.
해홍 ALE/1C의 총 출력은 최대 40W이며 냉각 회로에 외부 냉각기를 추가하면 출력이 최대 50W로 고출력 방전 수은 램프를 완전히 대체할 수 있다.
Radiation [W] | ||
ALE1/C | i-line | Broaband 350-450 nm |
표준 모드 | 17 | 40 |
성능 모드 | 21 | 50 |
수은등 | ||
350 W | 7 | 14 |
500 W | 10 | 20 |
1,000W | 20 | 40 |
분산 설계 설정
ALE/1C 광원은 일반적으로 제어 하위 시스템(CSS)과 하나 이상의 독립적인 노출 하위 시스템(ESS)으로 구성된 분산 설계 방법을 따르며 구조가 매우 작고 산업 통합에 적합하다.
출광 선택 및 광학 소자
ALE/1C 노출 광원과 함께 사용할 수 있는 유연한 액체 광도, 라이트 튜브, 호모지나이저 및 집광 광학 장치를 제공한다.
균질화 집광 소자
대면적 광학 소자 맞춤화
시스템 파라미터 및 사양
ALE/1C 노출 광원은 최대 3개의 UV-LED 송신기를 결합할 수 있다.
스펙트럼 구성 옵션
→ 근자외선(365,385,405,435 nm)
→ 가시광선(470, 520, 620, 660, 690 nm)
→ NIR （730、770、810、850、970 nm）
출력원 | 최대 3 LEDS 콤보, 365 ~ 970 NM의 출력 |
총 방사 출력* | 최대 40W (추가 냉각으로 50W 가능) |
광도 | 최대 100,000 mW/cm2 |
수치 구경 | 집광 소자에 따라 따름 |
제어 설정 | -독립형 LED 전원 관리 및 사전 설정 -정밀강도조절 (20-100%) -LED 상승 시간 약 1 ms -내부 또는 외부 신호를 통한 지속적인 광 출력 모니터링 및 피드백 제어 |
인터랙티브 인터페이스 | -USB:ALE/리모트 (ALE PC 소프트웨어) -PLC: 이산 인터페이스 -필드버스: 고객의 요구에 따름(예: CANopen) |
온도제어 | -내부액체냉각 -출력 향상을 위한 외부 냉각(옵션) |
크기(W H D) | ESS: 20 cm X 13 cm X 20.5 cm (7.9″ X 5.1″ X 8.1″) |
무게 | ESS: 5 kg (11 lbs) |
전원 입력 | 110-240 VAC / 50-60 Hz / 1,000 W |
출광 소자 | -육각형 및 원형 광관 (Ø6.5mm 및 Ø8.0mm) -맞춤 집광경 또는 초점 광학 장치 |
* 광학 튜브 끝에서 측정된 전체 스펙트럼(Ø8.0mm, 육각 투과막); 편차 ±10% | |
