[운송 모니터링]TSMC, 포토마스크 운송 품질 관리를 위해 MSR 충격·진동 데이터 로거를 선택하다 | TSMC 엔지니어 인터뷰 포함
반도체 제조 공정에서 포토마스크(Photomask)와 웨이퍼의 운송 품질 관리는 제품 품질과 수율에 영향을 줄 수 있는 중요한 관리 항목입니다.특히 장거리 운송에서는 운송 중 발생하는 충격과 진동, 온도·습도 등의 환경 데이터를 정량적으로 확인하고 관리할 필요가 있습니다.이번 사례에서는 TSMC가 포토마스크 운송 과정의 진동 데이터를 모니터링하기 위해 MSR175Plus 데이터 로거를 적용한 배경과 실제 사용 경험을 소개합니다. 반도체 제조 자재 […]