ALE/2 — UV-LED 자외선 광원 노광 시스템
대형 기판 UVLED 노광 시스템
제품 우세 및 특점
- 내장 솔루션으로 최대 노광 효율과 성능 실현
- 최대 70W의 i-line 노광 (CWL 365nm)
- 최대 80W의 광대역 노출(350-450nm)
- 폐루프 제어 광출력
- LED 공정 안정성과 TCO 강점
- 외부 냉각 불필요
- 무수은!에너지 절약형 친환경 LED 광원
초고출력 수은램프 대체 LED 광원
ALE/2 노출 광원은 350-450nm 범위의 협대역 및 광대역 UV 방사 출력을 제공한다.
해홍 ALE/2의 협대역 출력은 70W, 광대역 출력은 80W로 고출력 방전 수은등을 완전히 대체할 수 있다.
Radiation [W] | |
ALE2 | i-line |
표준 모드 | 70 |
성능 모드 | 80 |
수은등 | |
1,000 W | 20 |
5,000 W | 75 |
중심 파장: 367.5±2.5 nm, 387.5±2.5 nm, 402.5±2.5 nm, and 435.0±2.5 nm | |
도광기 끝에서 측정된 각 방출기의 전체 스펙트럼(길이 1.5m); 대략 ±10%의 편차. 반사 방지 코팅이 있는 Ø6.5mm 광도다. | |
분산 설계 통합
ALE/2 노출 광원은 일반적으로 제어 서브시스템(CSS)과 개별 노출 서브시스템(ESS)으로 구성된 분산 설계 방법을 따르며 ESS는 노출 시스템에 직접 연결할 수 있다.
제어 서브시스템 (CSS)
▪ 전원 공급 장치, 냉각 시스템 및 외부 인터페이스 포함
노출 하위 시스템(ESS)
▪ i, h, g선 송신기 및 LED 드라이브 포함
기본 매개 변수 정보
365 / 405 /436 nm
Radiation [W] | ||
ALE2 | i-line | Broadband |
표준 모드 | 35 | 80 |
성능 모드 | 38 | 90 |
수은등 | ||
1,000 W | 20 | 40 |
5,000 W | 75 | 150 |
4 NUV-LEDs：365 nm
Radiation [W] | |
ALE2 | i-line |
표준 모드 | 70 |
성능 모드 | 80 |
수은등 | |
1,000 W | 20 |
5,000 W | 75 |
중심 파장: 367.5±2.5 nm, 387.5±2.5 nm, 402.5±2.5 nm, and 435.0±2.5 nm | |
도광기 끝에서 측정된 각 방출기의 전체 스펙트럼(길이 1.5m); 대략 ±10%의 편차. 반사 방지 코팅이 있는 Ø6.5mm 광도다. | |
시스템 파라미터 및 사양
방출 파장 선택 | 4 LEDs with CWL 365 nm, 385 nm, 405 nm, and 436 nm |
수치 구경 | 표준 집광기 하: NA 0.3 (2α ~ 35°) |
출력 제어 | -개별 LED 전원 관리 및 사전 설정 -고해상도 강도조절(10-100%) -LED 상승 시간이 1밀리초 미만 -광출력 및 피드백 제어 연속 모니터링 |
통신 인터페이스 | -이산 PLC 인터페이스(TTL) -USB( 직렬) -이더넷/ Modbus( 옵션) |
열관리 | -내부 방열기가 있는 액체 냉각 -옵션 열전냉각기(성능모드 운전시 필요) |
크기 (W H D) | ESS 21 X 21 X 36 cm (8.3 X 8.3 X 14.2″) |
무게 | ESS 4 kg (9 lbs) |
전원 공급 | 110 – 240 VAC / 50 – 60 Hz / 1,500 W |
